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表面电阻测量用的检查治具 SM9002的使用方法

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Q.
购买了表面电阻测量用的检查治具SM9002,请教使用方法。
A.

SM9002是表面/体积电阻测量电极SM9001的专用选件,并且是用于检查超绝缘计和SM9001的操作以及执行简单校准的治具。 每侧均包含500kΩ和1TΩ的参考电阻(表面电阻)。
(检查步骤)
1.将SM9001的短棒连接到表面电阻测量侧(Rs),并将SM9001设置在SM9002的检查表面上。
2.[低电阻]将SM9002设置在低电阻侧(500kΩ)。 施加10V电压,约15秒钟后读取该值。 停止施加电压,旋转90°,然后以相同的方式测量4次(360°)。 如果测量值在500kΩ±5%以内,则可以。
3.[高电阻时]将SM9002翻转到高电阻侧(1TΩ)。 施加100V,确认电阻在1TΩ±5%范围内稳定。
※详细内容请参考使用说明书。

注)使用SM7110SM7120时,请务必使用“电阻值测量模式”。
如果是“表面电阻测量模式”或其他测量模式则无法正常显示电阻值。

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